高溫蒸鍍儀，KT-Z1650CVD，石英＋不銹鋼腔體，觸摸屏控制，工藝儲(chǔ)存功能，自動(dòng)電控?fù)醢灞Ｗo(hù)樣品

在厚度為2nm (20埃)或更厚時(shí)膜是連續(xù)的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達(dá)到最大電流密度，使得它具有足夠的溫度來引起蒸發(fā)?；谶@點(diǎn)，出現(xiàn)了細(xì)小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵達(dá)到1x10-4 mbar或更高的真空度。
渦輪分子泵在K950X中作為標(biāo)準(zhǔn)配置，此泵作為機(jī)械真空泵的后級泵，真空為全自動(dòng)控制，真空度優(yōu)于1x10-5 mbar?？蛇M(jìn)行預(yù)熱及除氣控制，同時(shí)用瞬時(shí)蒸發(fā)開關(guān)使脈沖蒸發(fā)在用戶控制下進(jìn)行。
標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)樣品臺可進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié)，非常容易適應(yīng)各種樣品座。

以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

  原樣品沒有鍍膜                        115A 100秒 機(jī)械泵

115A 100秒 分子泵抽12分鐘      115A 120秒 分子泵抽20分鐘

真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色

高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD